半导体无尘车间在生产过程中涉及高温、高压、电气设备以及易燃气体或化学品，因此对消防安全有着极高的要求。为了确保半导体无尘车间的消防安全，需要采取一系列消防措施：

一、建筑构造与耐火等级

1、厂房建筑的耐火等级：半导体无尘车间的厂房建筑耐火等级应为一级或二级，具体根据生产工艺和火灾危险性确定。

2、防火墙与防火隔墙：防火墙应采用不燃烧材料建造，其耐火极限不应低于相应规范的要求。防火隔墙也应采用不燃烧材料，且耐火极限应满足生产工艺和消防安全的需求。

3、楼板与屋面：楼板应采用钢筋混凝土现浇整体式梁板，其耐火极限应满足规范要求。屋面应采用内外镀锌钢板夹玻璃棉等不燃烧材料，确保厂房的整体耐火性能。

4、钢柱、钢梁与钢桁架：这些构件应采用厚涂型防火涂料进行保护，以提高其耐火极限。

5、围护构件：洁净室的吊顶和壁板（包括夹芯材料）应为不燃烧体，且不得采用有机复合材料。吊顶和壁板的耐火极限不应低于0.4h，疏散走道吊顶的耐火极限不应低于1.0h。

二、防火分区与安全疏散

1、防火分区：根据生产工艺和火灾危险性，合理划分防火分区。每个防火分区的**允许建筑面积应根据规范确定，并设置相应的防火分隔设施。

2、安全疏散：洁净厂房应设置足够的安全出口和疏散通道，确保在火灾发生时人员能够迅速撤离。安全出口和疏散通道应保持畅通无阻，并设置明显的疏散指示标志。

三、消防给水系统与灭火设施

1、消防给水系统：应设置室内消火栓系统和自动喷水灭火系统。室内消火栓的用水量、水枪充实水柱等参数应满足规范要求。自动喷水灭火系统应根据厂房的火灾危险性选择合适的喷水强度和作用面积。

2、泡沫灭火系统：对于易燃液体和可燃气体储存和使用场所，应设置泡沫灭火系统。泡沫灭火系统的选择和设计应满足规范要求，确保在火灾发生时能够迅速有效地扑灭火源。

3、气体灭火系统：半导体无尘车间常采用气体灭火系统，如七氟丙烷、二氧化碳和NOVEC 1230等灭火剂。这些灭火剂能在短时间内迅速遏制火灾，尤其适合保护那些对水或泡沫等传统灭火剂敏感的精密电子设备。

四、火灾自动报警系统与防排烟系统

1、火灾自动报警系统：应设置火灾自动报警系统，包括火灾探测器、手动报警按钮、报警控制器等设备。火灾自动报警系统应能够及时发现火灾并发出警报，为人员疏散和灭火救援提供宝贵时间。

2、防排烟系统：洁净厂房应设置防排烟系统，包括排烟风机、排烟阀等设备。在火灾发生时，防排烟系统能够迅速排除烟雾和有害气体，为人员疏散和灭火救援创造有利条件。同时，排烟系统应与火灾自动报警系统、灭火系统等消防设施实现联动，确保在火灾发生时能够迅速启动排烟系统。

五、应急照明与疏散指示

应设置应急照明和疏散指示标志，确保在火灾发生时人员能够迅速找到安全出口和疏散通道。

六、消防电源与配电

消防用电设备应采用专用的供电回路，并设置备用电源，以确保在火灾发生时消防设施能够正常运行。

七、其他消防措施

1、加强安全防护措施的投入和管理：确保洁净室无尘车间的安全运行，同时建立完善的安全管理制度，对安全事故进行预防和处理。

2、加强监测和记录管理：加强监测设备的投入和管理，确保监测数据的准确性和可靠性。同时，建立完善的记录管理制度，对生产过程中的各项数据进行记录和分析。